セラミック製品に応用される石英(SiO₂) | 科学、宇宙、半導体産業向けの高品質セラミックコンポーネント | Touch-Down Technology Co., Ltd.

半導体用石英 / Touch-Downは、高精度なセラミック部品のコンパクトな製造メーカーであり、原料の準備から成形、平面研削、内外径の研削加工、NCドリリングクルーのデジタル加工まで、製造と販売を統合した特殊セラミックス/高度セラミックス/特殊セラミックスの製造に特化しています。

半導体用石英

セラミック製品に応用される石英(SiO₂)

クォーツはその名前の通りガラスの一種ですが、一般的なガラスは多くの成分から成り立っているのに対して、クォーツはSiO₂のみで構成されています。クォーツは金属の不純物が非常に少量しか含まれておらず、最大で10ppm(百万分の一)までしかありません。最小の状態では通常10ppb(十億分の一)以下であり、その高純度のため、クォーツ自体が他のガラスでは表現できない特性と利点を持っています。


石英(SiO₂)材料は非常に低い熱膨張係数、高温耐性、高い耐摩耗性、良好な化学的安定性、電気絶縁性、低く安定した遅延、近紫外線(赤外線)可視光透過率、高い機械的特性などを特徴としています。
 
したがって、高純度の石英材料は現代の電子技術、半導体、通信、電気光源、太陽エネルギー、国防高精度計測器、実験室の物理化学器具、原子力、ナノ産業などで広く使用されています。
 
半導体の応用
半導体の製造プロセスでは、主に石英材料が石英管炉、石英ボート、石英リング、石英タンク、窓、プロセス装置などの関連する石英部品に使用されます。
石英の加工には、表面研削、研磨、円筒切断、切断、溝加工、曲線加工、特殊形状加工、超微細穴あけ、膜コーティングなどが含まれます。

石英の特性

1. 光の透過性が高い
石英の光の透過性は、可視光だけでなく、紫外線から赤外線までの波長の光にも優れた透過性があります。
2. 高純度
SiO₂のみで構成されているため、金属の不純物は微量しか含まれていません。
3. 耐熱性
軟化点が約1700°Cであり、1000°Cという高温でも使用することができます。熱膨張係数が小さく、急激な温度変化にも耐えることができます。
4. 薬品侵食耐性
優れた化学的耐性を持ち、非常に安定した化学特性を備えています。

石英材料の特性表
1. 材料の不純物含有量分析(SIO₂含有量:≥ 99.995%)
FeMgマンガンカリウムリチウムコバルトニッケルナトリウムホウ素チタンカルシウムアル
1.20.40.12.00.5< 0.020.030.572.30.80.10.816
2. 光学テスト:屈折率と分散値(na = 1.45845)
カテゴリー20°CUVIR可視光
Na値1.4586 ± 4 x 10-41.5341 - 1.49421.4251 - 1.474511.4698 - 1.45413
Mean dispersion and dispersion coefficient / Nf-Nc=0.00674 ±3 x 10-4 / Dispersion coefficient Y= 680
3. 熱試験
熱膨張係数温度 °C1003005007009001100
Thermal Expansion Coefficient x 10-75.115.925.655.735.525.48
熱伝導率 W/m°C温度 °C20100200300400950
熱伝導率1.381.471.551.671.842.68
熱エネルギー率 J/Kg°C温度 °C20100500900
熱エネルギー率6907729641052
4. 電気試験
電気性能誘電率(E)20°C23°C28°C
3.73.773.81
(Tgδ)1 kHz1-1000 MHz3 x 10-4MHz
0.00050.00010.0004
抵抗率係数
(Ω cm)
20°C400°C800°C1200°C
101610106.3 x 1061.3 x 105
5. 材料と酸化物の反応
AIO₃MgOCaOZnO酸化鉄銅酸化物バリウム酸化物塩基酸化物鉛酸化物
> 1200°C> 950°C> 1000°C> 800°C> 950°C> 950°C> 900°C> 800°C溶融状態
6. 機械的特性
密度2.21 g/cm³圧縮強度6000N/mm²
160000psi
延伸強度50 N/mm²トルク力30 N/mm²
モース硬度5.5 - 6.5 N/mm²トルク係数3.1 x 104 N/mm²曲げ耐久性67 N/mm²音速5720m x s
7. 温度変化

耐久温度: 1000 - 1125°C
長期使用: 1100°C以下
アニール温度: 1180°C
短期使用: 1450°C
軟化点: 1600 - 1710°C
融点: 1730°C

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