セラミック製品に応用される石英(SiO₂)
クォーツはその名前の通りガラスの一種ですが、一般的なガラスは多くの成分から成り立っているのに対して、クォーツはSiO₂のみで構成されています。クォーツは金属の不純物が非常に少量しか含まれておらず、最大で10ppm(百万分の一)までしかありません。最小の状態では通常10ppb(十億分の一)以下であり、その高純度のため、クォーツ自体が他のガラスでは表現できない特性と利点を持っています。
石英(SiO₂)材料は非常に低い熱膨張係数、高温耐性、高い耐摩耗性、良好な化学的安定性、電気絶縁性、低く安定した遅延、近紫外線(赤外線)可視光透過率、高い機械的特性などを特徴としています。
したがって、高純度の石英材料は現代の電子技術、半導体、通信、電気光源、太陽エネルギー、国防高精度計測器、実験室の物理化学器具、原子力、ナノ産業などで広く使用されています。
半導体の応用
半導体の製造プロセスでは、主に石英材料が石英管炉、石英ボート、石英リング、石英タンク、窓、プロセス装置などの関連する石英部品に使用されます。
石英の加工には、表面研削、研磨、円筒切断、切断、溝加工、曲線加工、特殊形状加工、超微細穴あけ、膜コーティングなどが含まれます。
石英の特性
1. 光の透過性が高い
石英の光の透過性は、可視光だけでなく、紫外線から赤外線までの波長の光にも優れた透過性があります。
2. 高純度
SiO₂のみで構成されているため、金属の不純物は微量しか含まれていません。
3. 耐熱性
軟化点が約1700°Cであり、1000°Cという高温でも使用することができます。熱膨張係数が小さく、急激な温度変化にも耐えることができます。
4. 薬品侵食耐性
優れた化学的耐性を持ち、非常に安定した化学特性を備えています。
石英材料の特性表
Fe | Mg | マンガン | カリウム | リチウム | コバルト | ニッケル | 銅 | ナトリウム | ホウ素 | チタン | カルシウム | アル |
1.2 | 0.4 | 0.1 | 2.0 | 0.5 | < 0.02 | 0.03 | 0.57 | 2.3 | 0.8 | 0.1 | 0.8 | 16 |
カテゴリー | 20°C | UV | IR | 可視光 |
Na値 | 1.4586 ± 4 x 10-4 | 1.5341 - 1.4942 | 1.4251 - 1.47451 | 1.4698 - 1.45413 |
Mean dispersion and dispersion coefficient / Nf-Nc=0.00674 ±3 x 10-4 / Dispersion coefficient Y= 680 |
熱膨張係数 | 温度 °C | 100 | 300 | 500 | 700 | 900 | 1100 | ||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Thermal Expansion Coefficient x 10-7 | 5.11 | 5.92 | 5.65 | 5.73 | 5.52 | 5.48 | |||
熱伝導率 W/m°C | 温度 °C | 20 | 100 | 200 | 300 | 400 | 950 | ||
熱伝導率 | 1.38 | 1.47 | 1.55 | 1.67 | 1.84 | 2.68 | |||
熱エネルギー率 J/Kg°C | 温度 °C | 20 | 100 | 500 | 900 | ||||
熱エネルギー率 | 690 | 772 | 964 | 1052 |
電気性能 | 誘電率(E) | 20°C | 23°C | 28°C | |
---|---|---|---|---|---|
3.7 | 3.77 | 3.81 | |||
(Tgδ) | 1 kHz | 1-1000 MHz | 3 x 10-4MHz | ||
0.0005 | 0.0001 | 0.0004 | |||
抵抗率係数 (Ω cm) | 20°C | 400°C | 800°C | 1200°C | |
1016 | 1010 | 6.3 x 106 | 1.3 x 105 |
AIO₃ | MgO | CaO | ZnO | 酸化鉄 | 銅酸化物 | バリウム酸化物 | 塩基酸化物 | 鉛酸化物 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
> 1200°C | > 950°C | > 1000°C | > 800°C | > 950°C | > 950°C | > 900°C | > 800°C | 溶融状態 |
密度 | 2.21 g/cm³ | 圧縮強度 | 6000N/mm² 160000psi | 延伸強度 | 50 N/mm² | トルク力 | 30 N/mm² |
---|---|---|---|---|---|---|---|
モース硬度 | 5.5 - 6.5 N/mm² | トルク係数 | 3.1 x 104 N/mm² | 曲げ耐久性 | 67 N/mm² | 音速 | 5720m x s |
耐久温度: 1000 - 1125°C
長期使用: 1100°C以下
アニール温度: 1180°C
短期使用: 1450°C
軟化点: 1600 - 1710°C
融点: 1730°C
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