マシン加工可能セラミックスの特性と応用
Touch-Downは、さまざまな高品質セラミックスや加工可能セラミックス(ガラスセラミックス/ミカセラミックスとも呼ばれる)を提供しています。当社の豊富な材料バリエーションは、半導体加工装置、集積回路テスト、医療診断システムなどの大規模な応用ニーズをサポートすることができます。
これらの細かい粒子はセラミックスに加工することができますが、従来の工具で加工することはできません。セラミックス製品はアルミニウム酸化物や他のセラミックスとほぼ同じくらい硬いです。加工性と高強度の細粒構造により、これらの材料は精密加工や応用に理想的な選択肢です。
機械加工可能なガラスセラミック(ガラスセラミックス)の特性
機械加工可能なガラスセラミックは、合成雲母を主な結晶相とする雲母ガラスセラミックであり、加工可能なセラミック材料の一種です。この材料は、良好な加工性能、真空性能、電気絶縁性、温度絶縁性、化学攻撃に対する耐性を特徴としています。
指標 | 標準値 | 説明 |
---|---|---|
密度 | 2.7g/cm³ | |
見かけの多孔性 | 0.096% | |
吸水性 | 0.038 | |
硬度 | 4〜5 | モース |
色 | 純白 | |
熱膨張係数 | 86 x 10-7/°C | 平均して100°C〜600°C |
熱伝導率 | 1.68W/m.k | 25°C |
長期運転温度 | 800°C | |
曲げ強度 | 108Mpa | |
圧縮強度 | 488Mpa | |
衝撃靭性 | >2.56KJ/m² | |
弾性率 | 65GPa | |
中程度の損失 | 1〜4 x 10-3 | 室温 |
誘電率 | 6〜7 | 室温 |
破壊強度 | >40KV/mm | 1mm 1mmのサンプル厚さ |
体積抵抗 | 1.08 x 1014Ω.cm | 25°C |
1.5 x 1010 | 200°C | |
1.1 x 107 | 500°C | |
室温でのガス放出率 | 8.8 x 10-9 m1/s. cm² | 8時間の真空時効 |
ヘリウム浸透率 | 1 x 10-10m1/s | 500°Cで焼成後、室温まで冷却してください |
5%HC1 | 0.26mg/cm² | 24時間、95°Cで保持してください |
5%HF | 83mg/cm² | 24時間、95°Cで保持してください |
50%Na2CO3 | 0.012mg/cm² | 24時間、95°Cで保持してください |
5%NaOH | 0.85mg/cm² | 24時間、95°Cで保持してください |
1. 加工性
ガラスセラミックの最も顕著な特徴は、旋盤、フライス盤、掘削、研削、ドリル、ノコギリ切断、タッピングといった標準の金属加工ツールや設備を用いて加工できることです。 一般的に、アルミニウム酸化物、窒化ケイ素セラミックなどの絶縁材料を加工することは容易ではありません。 ガラスセラミックの加工性は鋳鉄と似ており、異なる形状の複雑な高精度製品に加工することができます。 ガラスセラミックは壊れやすくて硬いですが、加工方法に注意を払うことで高精度な仕上がりの製品に加工することができます。
2. 電気性能
ガラスセラミックは優れた高温電気絶縁材料であり、多くの電気機器に使用することができます。さらに、高い電気絶縁強度、高い体積抵抗、低い媒体損失という特徴があります。
3. 熱性能
ガラスセラミックは高温に耐える絶縁材料であり、超低温領域で広く使用される耐腐食性のある電気絶縁材料の一種です。 その動作温度は-270°C〜 +800 °C. ガラスセラミックスの中のマイカ結晶はある程度の弾力性を持っているため、微細なクラックの伸長を防ぐことができ、より優れた耐熱ショック性も持っています。 また、低い熱膨張係数により、作業寸法の安定性が確保され、気密性のあるシールが実現できます。
4. その他のパフォーマンス
これは非導電性の磁石であり、比重は一般的な鉄の1/3であり、アルミニウムよりも軽く、吸水性も低いです。
完全に無機材料で構成されているため、老化や変形がなく、さまざまな有機溶剤に対して非常に良好な安定性と酸とアルカリに対する耐性があります。
優れた総合性能を持つ微結晶ガラスセラミックは、高精度な技術要件を満たすことができ、金型の設計と製造が不要なため、開発サイクルを大幅に短縮し、プロジェクトの進捗を加速し、開発コストを節約することができます。 特に自動車、軍事産業、航空宇宙、精密機器、医療機器、電気真空装置、電子ビーム露光機、織機、センサー、質量分析計および分光計などの機器で広く使用されることに特に適しています。 一部の薄壁コイルスケルトン、複雑な形状で精密機器やデバイスの絶縁サポートには、より高い精度要件があるため、ガラスセラミックスがより適しています。なぜなら、ガラスセラミックスは任意の形状に加工できるからです。 ホウ素窒化物よりも強度が高く、脱ガス率が低く、テフロンよりも耐熱性が高い。 それは変形しない、変質しない、耐久性があり、アルミナセラミックスよりも加工性が良く、生産サイクルが短く、合格率が高いため、デザイナーは必要なサイズで製品を自由に製造することができます。
機械加工可能なセラミックス(ガラスセラミックス/ミカセラミックス)の応用
- 半導体装置部品
- 半導体テスト部品
- レーザー装置部品
- 真空装置部品
- 薄膜堆積装置の部品。
- リニアモーターの部品。
- さまざまな断熱部品。
- 2Dディスプレイ加工装置の部品。
- 接着装置の部品。
- 位置決め部品。
- さまざまなセンサー部品。
- 分析装置の部品。
- 超音波発生器。
- さまざまな断熱部品など。
- 機械加工可能セラミックスの応用
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