自動転送、オブジェクトの描画、位置決め、精密スクリーン印刷の作業台は、多孔性透過セラミック（アルミナまたはシリコンカーバイド）を真空吸引に接続して、ワークピース（ウェハ、ガラス、PETフィルム、その他の薄いオブジェクトを含む）をセラミックチャックに配置し、真空吸引を使用してワークピースを固定して、クリーニング、切断、研削、スクリーン印刷などの加工手順を行います。

セラミックカット/研削ディスク（半導体用）

ウエハクランピングシステムは、ウエハの処理過程での移動の役割だけでなく、処理に必要な作業負荷をウエハにかけ、その負荷の作用下でウエハが反り変形しないようにします。 したがって、ウエハクランピングシステムの性能は、最終ウエハ製品の品質向上に非常に重要です。 この需要に対応するため、現在最も広く使用されているウエハクランピングシステムの方法は、作業物の「バキュームチャック」を真空負圧で「吸引」することです。これには高効率、汚染のない、高い位置決め精度、高硬度摩耗性能、低熱膨張係数の利点があります。

加工対象

セラミック真空チャック（多孔質セラミック真空チャック）。

タイプ

アルミナセラミックチャック。

主な特徴

Touch-Downは優れたエンジニアのグループを誇り、特殊形状セラミック加工プロジェクトで独自の高い技術を楽しんでいます。特殊形状加工技術はTouch-Downの強みです。
 
Touch-Downは、優れた構造強度、高温耐性、高圧耐性、優れた精度、良好な平行性、高密度および均一な組織を備えた精密セラミック部品を製造しています。長年にわたり、半導体製造工場で使用されてきました。
 
台湾新竹の科学公園に位置する当社の工場は、世界的に有名な科学技術の町に近く、アルミナ、ジルコニア、窒化ケイ素、炭化ケイ素セラミックの生産と加工において25年以上の豊富な経験を持っています。 私たちは強力な技術力、洗練された設備、豊富な加工経験を誇っています。 現在、私たちはいくつかの精密CNC機器、精密工作機械、さまざまな先進的な加工技術と加工ツール、そして高度な検出装置を備えており、製品の品質と精度を確保しています。 お客様の図面に基づいて、さまざまな仕様やタイプの精密セラミック部品を製造することができます。 当社の製品は高精度であり、優れた性能を備えており、半導体、太陽光発電、精密機械、軍事、医療、科学研究などのさまざまな分野で広く使用されています。

主な製品

セラミックボルト、セラミックシャフト、ジルコニアセラミック、プラグゲージ、リングゲージ、アルミナセラミックアーム、セラミックディスク、セラミックリング、マイクロポーラスセラミック真空チャック、基板、セラミック、セラミックレール、特殊形状の部品など。

仕様

製品名: 多孔質セラミック真空チャック
寸法: 200mm - 500mm x 30mm
属性:
主成分: アルミナ
色: ブラック / ブラウン
アルミナ含有量: 92%
水分含有量: 0%
孔径: 2〜3μm
空隙率：35〜40％
曲げ強度：6 kgf / cm²（Mpa）
体積比：2.28 g / cm³

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精密セラミックス

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